內容介紹
一、產品介紹
一種無色、無味、無毒、不燃性氣體，是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物 | |
中文名：六氟乙烷 |
分子式：C2F6 |
英文名：hexafluoroethane |
相對分子量：138.01 |
CAS No：76-16-4 |
危險性類別：第2.2類 |
UN No：2193 |
水溶性：難溶 |
熔點：-100.7℃ |
沸點：-78.2℃ |
臨界溫度：19.65℃ |
液體相對密度（水=1）：1.112 |
臨界壓力: 2.98MPa |
氣體相對密度（空氣=1）：4.766 |
二、技術指標
檢驗項目 |
指標 |
六氟乙烷（v/v）% ≥ |
99.999 |
氮 ppmv ≤ |
4 |
氧 ppmv ≤ |
1 |
一氧化碳ppmv ≤ |
1 |
二氧化碳ppmv ≤ |
1 |
其它氟碳化合物ppmv ≤ |
5 |
水 ppmv ≤ |
3 |
總酸度（以HF計）ppmv ≤ |
0.1 |
三、包裝規格
容積（升） |
43 |
470 |
充裝量（公斤） |
40 |
400 |
閥門型號 |
CGA660 |
DISS716 |
*可根據客戶要求提供其它規格的包裝。
四、六氟乙烷的應用
微電子工業中用于等離子蝕刻氣體，以及器件表面清洗、光纖生產、低溫制冷。
五、注意事項
儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫房溫度不宜超過50℃；應與易（可）燃物、氧化
劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作
規程。密閉操作，局部排風。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。本品可引起快速窒息，
可視為無毒氣體，但與可燃氣體一同燃燒時，分解產生有毒的氟化物，發現中毒時，應立即將受害者
轉移到無污染區，必要時施以人工呼吸，請醫生診治。瓶裝氣體產品為高壓液化氣體，使用時應經減
壓降壓后方可使用，每瓶氣體在使用到尾氣時，應保留瓶內余壓在0.3MPa，***小不得低于0.2MPa余壓，
將瓶閥關閉，以保證氣體質量和使用安全。勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴禁明火烘烤氣瓶，嚴禁野蠻
裝卸。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗時間，不符合要求的鋼瓶應委托菲利爾特種氣體等供應商到有資質的壓力
容器檢驗單位進行檢驗。嚴禁使用過期鋼瓶。
