一、產品介紹           

    四氟化碳在常溫下是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，是性質非常穩定的無毒物質，不易溶于水，

是一種溫室氣體。四氟化碳是目前微電子工業中用量***大的等離子蝕刻氣體。

二、  技術標準

三、  包裝規格(鋼瓶、Y瓶)

*可根據客戶要求提供其它規格的包裝。

四、四氟化碳的應用

    四氟化碳是目前微電子工業中用量***大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷

硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、

泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。四氟化碳還可用于金屬冶

煉和塑料行業等，有時會用作低溫冷卻劑。

五、注意事項

    儲存于陰涼、通風倉庫內。倉庫溫度不宜超過50℃。遠離火種、熱源，防止陽光直射。應與易燃或可

燃物分開存放。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應迅速撤離泄漏污染區人員***風處，

并進行隔離，嚴格***出入，建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服，盡可能切斷泄

漏源，合理通風，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。四氟化碳一般認為是惰性無毒物

質，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹

鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4

分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、

鋁、銅、青銅、黃銅、銀。可以用聚四氟乙烯，環氧樹脂和醋酸纖維。瓶裝氣體產品為高壓充裝氣體，使

用時應經減壓降壓后方可使用，每瓶氣體在使用到尾氣時，應保留瓶內余壓在0.3MPa，***小不得低于0.2MPa

余壓，將瓶閥關閉，以保證氣體質量和使用安全。勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴禁明火烘烤氣瓶，嚴禁野蠻

裝卸。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗時間，不符合要求的鋼瓶應委托菲利爾特種氣體等供應商到有資質的壓力容器

檢驗單位進行檢驗。嚴禁使用過期鋼瓶。