內容介紹
一、產品介紹
在鎢的氟化物中,WF6是***穩定并被工業化生產的品種。六氟化鎢在不同的溫度下為一種無色、
無嗅的氣體或透明的液體,其分子在常溫下具有對稱的正八面體結構。六氟化鎢是一種強氟化劑,除鎳、
蒙乃爾合金和不銹鋼外,在室溫下能使許多金屬氟化。在干燥狀態時對玻璃的腐蝕較弱,但在濕氣中能
迅速反應。六氟化鎢與離子型鹵化物反應可形成配位化合物,在高溫下可被氫還原為鎢。六氟化鎢遇水
很快水解,迅速生成氟化氫(HF) 和三氧化鎢,因此六氟化鎢在空氣中的毒性與HF基本相同。
中文名:六氟化鎢 |
分子式:WF6 |
英文名:Tungsten hexafluoride |
相對分子量:297.8 |
CAS No:7783-82-6 |
危險性類別:第2.3類有毒氣體 |
UN No:2196 |
溶解性:溶于多數有機溶劑 |
熔點:2.3℃ |
沸點:17.2℃ |
臨界溫度:169.85℃ |
液體密度(水=1,15℃):3441kg/ m3 |
臨界壓力:4.27MPa |
氣體密度(1atm,21℃):13.29kg/m3 |
二、技術指標
檢驗項目 |
指標 |
六氟化鎢(v/v)% ≥ |
99.999 |
氮 ppmv ≤ |
1.0 |
氧 氬 ppmv ≤ |
0.5 |
一氧化碳 ppmv ≤ |
0.5 |
二氧化碳 ppmv ≤ |
0.5 |
四氟化碳 ppmv ≤ |
0.5 |
三氟化氮 ppmv ≤ |
0.5 |
六氟化硫 ppmv ≤ |
0.5 |
四氟化硅 ppmv ≤ |
0.5 |
總酸度(以HF計)ppmv ≤ |
5 |
三、包裝規格
容積(升) |
10 |
20 |
40 |
充裝量(公斤) |
12.5 |
25 |
50 |
閥門型號 |
CGA638 |
CGA638 |
CGA638 |
*可根據客戶要求提供其它規格的包裝。
四、六氟化鎢的應用
主要用途是在電子工業中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用
作大規模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層,可用于X-射線的
發射電極。還可用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。
WF6還有許多非電子方面的應用,例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼
的表面性能,它還可用于制造某些鎢制部件,用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。
五、注意事項
泄露應急處理:迅速撤離泄漏污染區人員至安全區,禁止無關人員進入污染區,應急處理人員戴正壓
自給式呼吸器,穿廠商特別推薦的化學防護服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(或
擴散),但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內,抽排(室內)或強力通風(室外)。
漏氣容器不能再用,且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗時間,不符合要求的
鋼瓶應委托菲利爾特種氣體等供應商到有資質的壓力容器檢驗單位進行檢驗。嚴禁使用過期鋼瓶。
六、急救措施
皮膚接觸:脫去污染的衣著,用流動清水沖洗。在灼傷處涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水。就醫。
眼睛接觸:立即翻開上下眼瞼,立即用大量流動清水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。
吸入:脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。立即就醫。
食入:誤服者用水漱口,飲牛奶或蛋清,立即就醫。
滅火方法:泡沫、二氧化碳、干粉。












