高壓開關里面六氟化硫(SF6)氣體的雜質種類和濃度，受運行時間、開斷次數、微水含量和新氣雜質等多個因素影響，情況各不相同。SF6氣體在設備里經過長期運行，在水分和電弧等作用下，會產生一些有毒的分解產物，公認的氣態產物主要有：HF、SO2、SOF2、SO2F2、SF4、H2S等，固態分解產物有SiF4、AlF3、CuF2d等。這種氣體如果直接排放，將造成周圍環境的嚴重污染，所以我們必須對廢舊的六氟化硫氣體進行回收凈化處理，以期能再次利用。

拉回工廠的SF6廢氣，回放到六氟化硫氣體生產系統中，經過高溫裂解、除塵、水洗、堿洗、吸附、低溫精餾等一系列純化工藝，將被徹底的凈化，達到符合新氣標準的合格氣體。